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Optimal Control of a Tubular Reactor via Cayley-Tustin Time Discretization

颁布单位：[University of Alberta] | 颁布时间：2016 | 实施时间：2016 | 学科分类：[Cayley-Tustin, Time, Discretization, Self-Adjoint, Operators, Algebraic, Riccati, Equation, Parabolic, PDEs, Optimal, Control]

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Real-time feedback for etch rate and sidewall profile control in reactive ion etching.

颁布单位：[University of Michigan] | 颁布时间：1995 | 实施时间：1995 | 学科分类：[Control, Etch, Etching, Feedback, Ion, Profile, Rate, Reactive, Real, Sidewall, Time, Mechanical engineering]

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