颁布单位：[University of Michigan] |  颁布时间：2012 |  实施时间：2012 |  学科分类：[Gyroscope, MEMS, Electrical Engineering, Engineering, Electrical Engineering]

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颁布单位：[University of Michigan] |  颁布时间：2012 |  实施时间：2012 |  学科分类：[Mems, Gyroscope, Rate-integrating Gyroscope, Whole-angle Gyroscope, Electrical Engineering, Engineering, Electrical Engineering]

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颁布单位：[University of Michigan] |  颁布时间：2009 |  实施时间：2009 |  学科分类：[MEMS, Wafer-level Packaging, Vacuum Pacakaging, Generic Assembly, Gyroscope, Environment-resistant, Electrical Engineering, Engineering, Electrical Engineering]

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