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Consequences of N2 gas flow variation on properties of zirconium oxide-nitride films

颁布单位：[CHAMOS Matrusanstha Department of ... | 颁布时间：2016 | 实施时间： | 学科分类：

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Modelling and analysis of sputter deposited ZrN coating by CFD

颁布单位：[CHAMOS Matrusanstha Department of ... | 颁布时间：2016 | 实施时间： | 学科分类：

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Characterization of sputtered zirconium nitride films deposited at various argon:nitrogen ratio

颁布单位：[CHAMOS Matrusanstha Department of ... | 颁布时间：2016 | 实施时间： | 学科分类：

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