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TEMPERATURE-PROGRAMMED EVOLUTION OF LOW-ENERGY, RARE-GAS IONS IMPLANTED IN SI(100) (VOL 330, PG L633, 1995)
[摘要]
[发布日期] 1995-10-10 [发布机构] 
[效力级别]  [学科分类] 
[关键词]  [时效性] 
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