关于申报“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项2014年度项目的通知

[摘要] 各有关单位： 国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”（简称02专项）根据实施方案和“十二五”实施计划，安排一批拟于2014年启动的研发项目在全国公开发布，通过竞争择优方式选择优势单位，组织产学研用联盟承担项目。 …………

[发布日期] 2013-05-15 [发布机构] 中华人民共和国科学技术部

[效力级别] 规范性文件

[关键词] 项目;专项;集成电路 [时效性] Effective