国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”2011年项目指南

[摘要] 为推动我国集成电路制造产业的发展，提升我国集成电路制造装备、工艺及材料技术的自主创新能力，充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”根据实施方案和“十二五”实施计划，安排一批拟于201…………

[发布日期] 2010-04-30 [发布机构] 中华人民共和国科学技术部

[效力级别] 一般性文件

[关键词] 项目;专项;申报 [时效性] Effective